Русский
Валюта KZT
Установка вакуумная V-700 О ELI для нанесения оптических покрытий – Вакуумная техника и технологии (ВТТ), ООО | all.biz
Купить Установка вакуумная V-700 О ELI для нанесения оптических покрытий
Установка вакуумная V-700 О ELI для нанесения оптических покрытий
ustanovka_vakuumnaya_v_700_o_eli_dlya_naneseniya_opticheskih_pokrytij

Установка вакуумная V-700 О ELI для нанесения оптических покрытий

Товар от производителя
В наличии
Уточняйте цену у продавца
Доставка:
Продавец
Беларусь, Сморгонь
(Показать на карте)
+375 
Показать телефоны
10
10 лет на Allbiz
Технические характеристики
  • БрендCo Ltd VTT
  • Страна производительБеларусь
  • ЦветБелый
Описание

Вакуумная установка предназначена для нанесения в вакууме покрытий методом электронно - лучевого, магнетронного и резистивного испарения различных материалов с предварительной ионной очисткой на базе криогенной откачки.

В частности в настоящее время установка используется для нанесения слоев АuGe - Аu и Ni - Аl на подложке из GaAs.

  • Высоковакуумная откачная система на базе криогенного насоса.
  • Управление откачной системой, системой пневматической, системой гидравлической - на базе промышленного логического контроллера немецкого производства, обеспечивающего высокую надежность, гибкое изменение алгоритмов управления и замену средств управления.
  • Рабочее место оператора, установки параметров и режимов технологических устройств, управление блоками питания испарителей, напуска газов, системой кварцевого контроля - на базе персонального компьютера под Windows 2000/XP.
  • Программное обеспечение SCADA - системы в среде Visual С + + .

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

  • Высота камеры 600мм;
  • Диаметр камеры 640мм;
  • Частота вращения технологической оснастки 0.. .20 об/мин
  • Загрузка технологической оснастки (для пластин 50 GaAs) 48 шт;
  • Максимальная температура нагрева подложек 350С;
  • Мощность, потребляемая установкой, не более 25 кВт.
  • Предельный остаточный вакуум 5 * 10 - 4 Па.

СОСТАВ УСТАНОВКИ.

№ п/п. Наименование Количество
1 Высоковакуумный откачной модуль на базе
криогенного насоса НВК - 3,2 - А - Р
1
2. Форвакуумный агрегат НВР 25Д/НД 200
(возможна установка насосов немецкой
фирмы PFEIFFER)
1
3. Высоковакуумный затвор Ду 250 1
4. Камера вакуумная с дверью 1
5. Нагреватели внутрикамерные 2
6. Технологическая оснастка со сменным
куполом
1
7. Электронно - лучевой испаритель 1
8. Резистивный испаритель 1(2)
9. Ионный источник травления 1
10. Магнетронный испаритель 4
11. Система гидравлическая (SMC) 1
12. Система пневматическая (SМС) 1
13. Система кварцевого контроля толщины
покрытий с тремя датчиками
1
14. Стойка управления 1
15. Стойка питания УЭЛИ 1
16. Стойка питания магнетронов, источника
ионной очистки, резистивного испарителя
1

Установка по согласованию заказчика может комплектоваться технологической оснасткой под изделия, системой фотометрического контроля покрытий (спектровизор), системой управления с полной автоматизацией процессов нанесения покрытий.

 

С Уважением, директор предприятия

Василий Семенович

тел. моб: 375 (29) 6154641

skype: vvs_12

e - mail: vactt@mail. ru

Связаться с продавцом
Установка вакуумная V-700 О ELI для нанесения оптических покрытий
Установка вакуумная V-700 О ELI для нанесения оптических покрытий
за
по товару
Ваше сообщение должно содержать не меньше 20 символов. Сообщение не может быть больше 2000 символов.
Не заполнено обязательное поле
Неверно заполнено поле
Неверно заполнено поле
Способы доставки
Сравнить0
ОчиститьВыбрано позиций: 0