Купить Установка вакуумная V-700 О ELI для нанесения оптических покрытий

ustanovka_vakuumnaya_v_700_o_eli_dlya_naneseniya_opticheskih_pokrytij

Установка вакуумная V-700 О ELI для нанесения оптических покрытий

Товар от производителя

В наличии

Уточняйте цену у продавца

Доставка:

Самовывоз,
Курьер
Детально

Позвонить

Технические характеристики

БрендCo Ltd VTT
Страна производительБеларусь
ЦветБелый

Описание

Вакуумная установка предназначена для нанесения в вакууме покрытий методом электронно - лучевого, магнетронного и резистивного испарения различных материалов с предварительной ионной очисткой на базе криогенной откачки.

В частности в настоящее время установка используется для нанесения слоев АuGe - Аu и Ni - Аl на подложке из GaAs.

Высоковакуумная откачная система на базе криогенного насоса.
Управление откачной системой, системой пневматической, системой гидравлической - на базе промышленного логического контроллера немецкого производства, обеспечивающего высокую надежность, гибкое изменение алгоритмов управления и замену средств управления.
Рабочее место оператора, установки параметров и режимов технологических устройств, управление блоками питания испарителей, напуска газов, системой кварцевого контроля - на базе персонального компьютера под Windows 2000/XP.
Программное обеспечение SCADA - системы в среде Visual С + + .

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Высота камеры 600мм;
Диаметр камеры 640мм;
Частота вращения технологической оснастки 0.. .20 об/мин
Загрузка технологической оснастки (для пластин 50 GaAs) 48 шт;
Максимальная температура нагрева подложек 350С;
Мощность, потребляемая установкой, не более 25 кВт.
Предельный остаточный вакуум 5 * 10 - 4 Па.

СОСТАВ УСТАНОВКИ.

№ п/п.	Наименование	Количество
1	Высоковакуумный откачной модуль на базе криогенного насоса НВК - 3,2 - А - Р	1
2.	Форвакуумный агрегат НВР 25Д/НД 200 (возможна установка насосов немецкой фирмы PFEIFFER)	1
3.	Высоковакуумный затвор Ду 250	1
4.	Камера вакуумная с дверью	1
5.	Нагреватели внутрикамерные	2
6.	Технологическая оснастка со сменным куполом	1
7.	Электронно - лучевой испаритель	1
8.	Резистивный испаритель	1(2)
9.	Ионный источник травления	1
10.	Магнетронный испаритель	4
11.	Система гидравлическая (SMC)	1
12.	Система пневматическая (SМС)	1
13.	Система кварцевого контроля толщины покрытий с тремя датчиками	1
14.	Стойка управления	1
15.	Стойка питания УЭЛИ	1
16.	Стойка питания магнетронов, источника ионной очистки, резистивного испарителя	1

Установка по согласованию заказчика может комплектоваться технологической оснасткой под изделия, системой фотометрического контроля покрытий (спектровизор), системой управления с полной автоматизацией процессов нанесения покрытий.

С Уважением, директор предприятия

Василий Семенович

тел. моб: 375 (29) 6154641

skype: vvs_12

e - mail: vactt@mail. ru

Подобные товары компании